الجهاز الكهروميكانيكي الدقيق وطريقة صنعه

1. يتعلق الاختراع الحالي بجهاز كهروميكانيكي دقيق وطريقة تصنيعه.

تقنية الخلفية:

2. الجهاز الكهروميكانيكي الصغير (mems) عبارة عن تقنية تم تطويرها بشكل شامل على أساس تكنولوجيا الإلكترونيات الدقيقة وتكنولوجيا تصنيع أشباه الموصلات وغيرها من التخصصات ، والتي تدمج العديد من المجالات التقنية مثل الطباعة الحجرية والتآكل وترسيب الأغشية الرقيقة والتشكيل الدقيق والتشغيل الآلي الدقيق ، تصغير الأجهزة الدقيقة لتلبية احتياجات التطبيقات المختلفة. تشمل أجهزة الميمات الشائعة مقاييس التسارع والجيروسكوبات.

3. تستخدم مقاييس التسارع أو الجيروسكوبات الحالية في الغالب اثنين أو أكثر من هياكل الحزمة الكابولية لدعم الكتلة الكتلية. يمكن إزاحة كتلة الكتلة بسبب التسارع ، أو يمكن دفعها للتذبذب ، أثناء قياس تغير السعة الناتج عن كتلة الكتلة. يمكن قياس التسارع والسرعة الزاوية. ومع ذلك ، فإن عملية تصنيع الحزمة الكابولية معقدة ، ومشكلة عدم توازن الإجهاد بين عوارض الكابول معرضة للحدوث.

اتصل بنا:

Email: zhang@pride-cnc.com

الهاتف: بالإضافة إلى 86-755-23699351

الغوغاء: بالإضافة إلى 8618666663894