نوع من صفيحة التسخين الجزئي MEMS تعتمد على فيلم عازل جانبي مركب وطريقة تصنيعه

نوع من صفيحة التسخين الجزئي MEMS تعتمد على فيلم عازل مركب عرضي وطريقة تصنيعه

المجال التقني

1. يتعلق الاختراع الحالي بالمجال التقني للميمات ، على وجه الخصوص لوحة mems الدقيقة الساخنة على أساس فيلم عازل مركب مستعرض وطريقة تصنيعه.

تقنية الخلفية:

2. لقد ثبت أن ألواح التسخين الدقيقة المستندة إلى عملية mems تتمتع بمزايا التصغير ، وانخفاض استهلاك الطاقة ، والاستجابة الحرارية السريعة ، والتكامل السهل ، وتستخدم على نطاق واسع في مستشعرات الغازات الدقيقة ، وعدادات تدفق الغازات الدقيقة ، وبواعث الأشعة تحت الحمراء ، والمقاييس الدقيقة. على سبيل المثال ، عند استخدام صفيحة صغيرة ساخنة لمستشعر الغازات الدقيقة ، يتأثر أداء مستشعر الغازات الدقيقة بدرجة حرارة التشغيل والاستقرار الميكانيكي. عادة ، تحتاج اللوحة الساخنة الصغيرة المستخدمة في مستشعر الغازات الدقيقة إلى توفير درجة حرارة موحدة من 150 درجة إلى 400 درجة وجيدة. وموزعة بالتساوي. من أجل الاندماج في الأجهزة المحمولة ، تحتاج اللوحات الدقيقة إلى تقليل استهلاك الطاقة قدر الإمكان وتوفير درجة حرارة مناسبة ، مع الحفاظ على اتساق درجة الحرارة الجيد ، والخصائص الميكانيكية ومعدل التسخين ، والتي أصبحت نقطة ساخنة في مجال أبحاث اللوحات الدقيقة.

3. تستخدم الصفيحة الحرارية الدقيقة المستوية الحالية من mems بشكل عام أفلام sio2 ، si3n4 أو sio2 ، si3n4 مجتمعة في اتجاه رأسي لتشكيل طبقة دعم وطبقة عازلة. ومع ذلك ، فإن الموصلية الحرارية المنخفضة للوحة الساخنة الصغيرة باستخدام مادة sio2 فقط من السهل زيادة فقدان الحرارة والتسبب في تشوه حراري بدرجة حرارة عالية. يمكن للوحة التسخين الصغيرة التي تستخدم مادة si3n4 فقط أن تخفف من التشوه الحراري لدرجات الحرارة العالية وتزيد من معدل التسخين ، لكن الموصلية الحرارية العالية تؤدي خصائص sio2 و si3n4 إلى زيادة فقدان الحرارة الجانبي وتشوه اللوح الساخن يتكون من أفلام sio2 و si3n4 مجتمعة في اتجاه رأسي يتم تقليلها ، لكن فقدان الحرارة الجانبي لا يزال موجودًا. تؤدي هذه العوامل إلى خسارة توصيل حراري أكبر واستهلاك أعلى للطاقة للوح التسخين الصغير من النوع المسطح مقارنةً بلوح التسخين الصغير من نوع الجسر المعلق. ومع ذلك ، فإن المشاكل الخطيرة للوحة التسخين الصغيرة من نوع الجسر المعلق هي التشوه الكبير ، والتلف السهل ، وعدم التوافق مع العمليات الأخرى في المرحلة اللاحقة ، مما يؤدي إلى انخفاض العائد ، وانخفاض الاستقرار وموثوقية إعداد الجهاز بناءً على هذا النوع من الميكرو -صفيحة ساخنة.

اتصل بنا:

Email: zhang@pride-cnc.com

الهاتف: بالإضافة إلى 86-755-23699351

الغوغاء: بالإضافة إلى 8618666663894